技术编号：2858113
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及准分子灯装置，尤其是涉及被使用于紫外线照射处理的准 分子灯装置。背景技术现在，例如在通过紫外线照射清洗液晶显示面板的玻璃基板的工序等中，使用具备放射波长200nm以下的真空紫外线的准分子灯的准分子灯装 置。被使用于此种准分子灯装置的准分子灯，如在专利文献1的记载，为 了高效率地放射紫外线，以二氧化硅粒子作为主体的紫外线反射膜，形成 在相对于被照射物水平配置的放电室对于被照射物放射紫外线的一面，即 形成于除了光射射出方向侧的一面的放电室内面。然而，...
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