技术编号：28594162
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开内容的实施方式大体涉及沉积工艺，并且具体地，涉及用于在航空部件(aerospace component)上沉积膜的气相沉积工艺。背景技术.焦化是燃料喷嘴中因高温(例如，约℃至约,℃)、喷嘴和燃烧器中的富燃料环境以及可使碳的沉积成核的金属表面而造成的已知问题。由于燃料喷嘴的几何形状是复杂的，并且具有高长宽比(aspect ratio)通路，因此难以用防焦涂层涂覆这些通路。.在涡轮机(turbine)行业中减少焦化的当前方法大多是基于机械技术，诸如控制零件的温度、控制燃料...
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