技术编号:28625641
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明一般涉及显示技术领域,具体涉及一种氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置。背景技术.氧化物薄膜晶体管(oxide tft)由于其较高的迁移率,被广泛应用于大尺寸、高ppi(pixel sperinch,每英寸像素数)的lcd(液晶显示器)及oled(organic light emitting diode,有机发光二极管)产品中。其中有源层的材料通常由igzo(indiμm galliμm zin coxide,铟镓锌氧化物)构成。.目前受曝光设备和曝光系统的影响,oxi...
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