技术编号：2865623
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示，特别涉及一种膜层刻蚀防损伤监控设备，该监控设备包括腔室，所述腔室中设有光源和若干个光感探头，所述光源向基板上的所述膜层照射，所述光感探头用于感应所述膜层的透光率。本实用新型提供的膜层刻蚀防损伤监控设备，结构简单，使用方便，通过对比不同状态下膜层的透光率，可有效监控对膜层的刻蚀程度，最大程度确保膜层不被过度刻蚀，确保膜层的性能，进而提高产品的良品率。专利说明一种膜层刻蚀防损伤监控设备 [0001] 本实用新型涉及显示，特别涉及一种膜...
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