技术编号：2865888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种准分子灯装置。尤其是关于在半导体基板或液晶基板等的制造工序中，利用于半导体基板或液晶基板的清洗等的准分子灯装置。 背景技术近年来，在半导体基板或液晶基板等的制造工序中，作为将附着在作为半导体基 板的晶片或者作为液晶基板的玻璃基板的表面上的有机化合物等脏污除去的方法，广泛利 用使用了紫外线的干式清洗方法。尤其是，在使用从准分子灯放射的真空紫外线的基于臭 氧或活性氧的清洗方法中，提出各种更有效地在短时间内进行清洗的清洗装置，例如已知 专利文献1。...
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