技术编号：2865927
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电路和等离子加工装置，该电路和等离子加工装置用于加工半导体，液晶装置等的电子器件以及微电机的电子器件。此外，盘状天线11通过绝缘板12与衬底电极7相对地固定在真空容器1上部壁面的内部表面上。天线11的下部表面覆盖有盖子13。围绕天线11，导体环14通过绝缘环15固定在真空容器1上部壁面的内部表面上。采用这种布置，环形等离子体陷阱16设置在导体环14和天线11之间和绝缘环15和绝缘板12之间。天线11设有穿过绝缘板12和真空容器1上壁的供给棒1...
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