技术编号：2867453
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。专利说明聚焦离子束低千伏增强 发明[1000]本发明涉及带电粒子束系统，如聚焦离子束系统。 发明背景[1001]聚焦离子束系统将带电粒子引导至工件或靶体上，以便对工件进行加工或以便形成工件的图像。带电粒子束系统用在例如集成电路制造和其他纳米技术加工...
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