技术编号：2867498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。提供一种能够正确地检测电弧放电的产生的等离子体处理装置。使用等离子体对基板(G)实施处理的等离子体处理装置(10)具备腔室(11)，其被提供高频电力而在内部产生等离子体；第一微分电路(21)，其对高频电力的行波电压Vf进行时间微分；第二微分电路(23)，其对高频电力的反射波电压Vr进行时间微分；比较器(22)，其计算dVr/dt-dVf/dt，在计算出的该dVr/dt-dVf/dt超过电弧放电检测值的情况下，判断为在腔室(11)内产生了电弧放电而发送信号；...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。