技术编号：2867863
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种组装于一种离子布植机的扫描臂和其扫描头，其中扫描头包括一外壳、一轴组件、一静电夹具、一第一驱动机构以及一第二驱动机构。外壳具有一恒定中心线。轴组件穿过外壳的一第一侧，并且具有一扭转轴、相对于外壳呈固定的一第一枢转点以及位于外壳之外的一第一端。静电夹具固接于第一端上，并且适于固持一工件。第一驱动机构适于驱动轴组件、静电夹具和工件相对于恒定中心线倾斜。第二驱动机构适于驱动轴组件、静电夹具和工件绕着扭转轴旋转。专利说明扫描头及运用此扫描头的扫描臂 [0...
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