技术编号：2869316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，该纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备方法包括制备氧化铝膜、定向扩孔，该纳米孔阵列阳极氧化铝微通道板的制备方法包括制备氧化铝膜、定向扩孔、制备微通道板。该纳米孔阵列阳极氧化铝膜及氧化铝微通道板的制备方法克服了传统含铅硅酸盐玻璃微通道板的通道孔径难以减小的技术瓶颈，解决实现微通道板超小孔径，增大微通道板面积等难题，实现提高空间分辨率、时间分辨率、增加增益、减少暗计数率、扩大面阵，承受更高温度等优良性能。专利说明 [0001]本发明属于微电子工艺及光...
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