三通道离子源喷头的制作方法技术资料下载

技术编号:2870128

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本发明涉及一种新型结构的三通道喷头,包括石英管、气体通道、三通接头、电极丝弹性头、进气管锁紧螺头、进气管、电极丝锁紧螺头、高压锁紧螺头、高压导线、高压电极、进液管、进液管锁紧螺头、石英管弹性头、石英管锁紧螺头、电极丝。进气、进液与加高压的部件都布置在三通接头的尾部,在三通接头上互成角度地布设有三个空心螺头,分别为进气管螺头、进液管螺头和电极丝螺头,从三个螺头的中心孔处分别向三通接头内部引入进气管、进液管和电极丝。本发明结构紧凑体积小,主要应用于表面解吸常压...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用