技术编号：2870180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，包括由第一伺服电机和第一带轮组件组成的齿轮驱动机构，以及第二伺服电机和第二带轮组件组成的滚珠丝杠螺母副驱动机构；所述齿轮驱动机构的带轮旋转轴上固定有少齿宽面小齿轮，滚珠丝杠螺母副驱动机构的带轮旋转轴上固定有滚珠丝杠螺母副，该滚珠丝杠螺母副的螺母固定连接有多齿窄面大齿轮，且该多齿窄面大齿轮与少齿宽面小齿轮啮合，二者均为直齿；同时，多齿窄面大齿轮中心孔内装配有电极连接轴，电极连接轴末端固定有引出电极。该驱动装置可实...
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