技术编号：28702182
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种周期纳米材料制备技术领域，尤其是涉及一种周期性纳米阵列的制备方法。背景技术.近年来，由于纳米材料的突出特性和纳米器件的广泛使用，使得纳米制造技术得到了很大的重视。目前已出现多种先进的纳米制造技术，例如电子束曝光光刻、聚焦离子束光刻、纳米压印技术等等。但是这些制备方法大多数具有成本高、效率低、可控性差等缺点限制了他们的应用。本发明所提出的离子束刻蚀法制备纳米结构操作简单，成本低，具有较好的发展前途。.均匀及有序的纳米结构会具有更加稳定和优异的性能，因此开发新型的、高度有序的纳...
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