技术编号：2871086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种防止异常放电的大面积等离子体处理装置，包括一超高频电源、一功率放大器、一匹配箱、一180°相位差功率分配器、一示波器、一真空容器、二平行平板电极及一可变电容器。该180°相位差功率分配器与该匹配箱电性连接，接收从该超高频电源传来的超高频电力，将超高频电力转换为180°相位差电位超高频电力。该等平行平板电极分别以一同轴电缆线与该180°相位差功率分配器电性连接，以接收180°相位差的超高频电力。藉由上述结构可节省不必要的异常放电耗损电费，更能获得高均匀度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。