技术编号：2871836
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种具有温度测试功能的ICP刻蚀机，主要解决了现有ICP刻蚀机无法侦测铝托盘的具体温度，从而导致晶圆加工不稳定，影响蚀刻速率和选择比的问题。该具有温度测试功能的ICP刻蚀机包括铝托盘，所述铝托盘上设置有用于侦测铝托盘实时温度的温度测试装置。该ICP刻蚀机在原有ICP刻蚀机卡盘装置的基础上增加用于侦测温度的装置，从而准确的掌握铝托盘的实际温度，并通过冰机设置合理的温度以满足冷却的效果。专利说明具有温度测试功能的ICP刻蚀机[0001]本实用新型...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。