技术编号：28768569
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体加工中转输送技术领域，尤其涉及一种自动化半导体输入中转设备。背景技术.现有技术中，特别是在半导体生产加工自动化产线上，常涉及半导体加工物料在多台加工设备之间的运输及搬运，往往需要将各个部件分别依次在不同的加工设备上进行加工处理，即每台设备分别完成一定的加工工序，本道加工工序完成后便需要将物料流转到下个加工设备上去完成下一道加工工序，而现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，...
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