技术编号：2879328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种离子源及采用该离子源的离子注入机，所述离子源至少包括离子发生腔，所述离子发生腔由顶板、侧板及底板围成；所述顶板由一收容槽及一对可在所述收容槽中相对移动的滑板组成；所述收容槽底部具有一缝隙，所述收容槽顶部具有一开口以露出所述缝隙；所述滑板相对移动以控制露出的缝隙大小。本实用新型的离子源中用于析出离子束的缝隙宽度精确可调，采用该离子源的离子注入机能够始终保持析出的离子束的稳定性，从而满足离子注入工艺的严苛要求，提高产品良率。专利说明离子源及采...
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