技术编号：2879554
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型给出一种智能电子扫描镜，主要由电子发射枪(1)、聚光镜(2)、透镜(3)、扫描仪(4)、取样器(5)、闪烁器(6)、倍增管(7)和显像仪(8)构成，聚光镜(2)、透镜(3)和扫描仪(4)依次设置在电子发射枪(1)的发射方向，所述扫描仪(4)连接有发生器(9)，所述取样器(5)连接有放大器(10)，所述取样器(5)和显像仪(8)之间分别设置有闪烁器(6)和倍增管(7)。本实用新型的智能电子扫描镜，通过设置智能式控制，反馈来控制电子探针的扫描频率和强...
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