技术编号：2882713
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种等离子真空泵，它是将电子发射环、旋转线圈套装在玻璃泵体的外壁，在玻璃泵体两头焊接有进排气管；进气管用于与被抽容器连接，排气管用于与前级真空泵连接；利用电子发射环将进入玻璃泵体内的气体部分电离形成等离子气体，等离子气体在旋转线圈形成的旋转磁场中高速旋转；由于气体的粘滞作用，等离子气体带动未能电离的气体分子一起高速旋转，形成涡流产生中心真空区进行除气。由于等离子气体在旋转磁场中高速旋转没有机械运动部件，没有振动、结构简单、能耗低、耐大气冲击。...
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