技术编号:28860441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于薄膜沉积的固体前体进料系统.相关申请的交叉引用.本申请要求年月日提交的标题为“powder feed vapor source for mocvd of high-performance rebco tape”的美国临时专利申请第/,号的优先权和利益,其全部内容以引用方式并入本文。.发明背景技术领域.本文公开的主题的实施方案总体上涉及用于向气相沉积反应器供应粉末状材料的系统和方法,并且更具体地涉及用于由固体前体材料制造高温超导体的系统和方法。背景技术....
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。