技术编号：2890691
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，上述准分子灯 用于通过在被处理体的表面照射紫外线，氧化除去附着于被处理体表 面的有机化合物而清洁被处理体，此外通过在被处理体的表面照射紫 外线，改变被处理体表面的性质。背景技术目前，在半导体集成电路的制造、液晶显示器的制造等中的清洁 工序的一部分，使用利用了紫外线照射的清洁方法。以往，该方法以主要对波长186nm和254nm具有光谱的低压水银灯作为光源的方法为 主流。最近，代替低压水银灯，作为更有效的方法，利用使用准分子灯 的清洁或改性方法...
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