技术编号：2891905
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种准分子灯，其具备由二氧化硅玻璃构成的放电容 器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极， 在上述放电容器的内部产生准分子放电。背景技术近年来，开发了例如通过将波长200rnn以下的真空紫外光照射在 由金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，而在该真空紫外光及由 此所生成的臭氧的作用下处理被处理体的技术，例如除去附着于被处 理体的表面的有机污染物质的清洗处理技术、或在被处理体的表面形 成氧化膜的氧化膜形成处理技术，并将这些技术实用...
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