技术编号：2894317
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及照明装置。更特定来说，本发明涉及利用全息结构来导引光以 (例如)照明显示器的照明装置。本发明还涉及这些装置的使用和制造方法。背景技术微机电系统(MEMS)包含微机械元件、致动器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/ 或其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的若干部分或者添加层以形成电装置和机电装置 的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使 用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收...
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