技术编号：2894969
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到照射真空紫外光的准分子灯。 背景技术已知有图4所示结构的准分子灯。在该准分子灯中，放电容器具有外侧管和内侧管，所述外侧管和内侧管大致同轴 地进行配置并且在端部相互接合，即具有所谓二重管结构，从而具有圆筒状的放电空间。在该外侧管的外周面侧(放电空间的外侧)配置有一侧电极，在内侧管的内周面 侧(放电空间的外侧)配置有另一侧电极，在放电容器内部封入有例如10 80kPa的氙气， 作为准分子放电气体。通过对所述一侧和另一侧电极施加高频高电压，从而隔着构...
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