技术编号：2896567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种短弧型放电灯，适用于半导体及液晶的制造领城等的曝光用光源 及放映机的背光源(back light)用光源。背景技术短弧型放电灯由于对置地配置于发光管内的一对电极的前端距离较短并且接近 于点光源，因而通过与光学系统组合而被利用为曝光装置用的光源或是放映机的背光源用 的光源。专利文献1及2公开了现有的短弧型放电灯。如专利文献1所公开地，在氙短弧 灯中作为发光气体的氙气体、在水银蒸汽短弧灯中作为缓冲气体的氙气体、氪气体及氩气 体的准分子发光，会引起...
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