技术编号：2897419
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光源装置，特别涉及一种对用于读取放电灯的个别 信息的个别信息读取部进行保护的光源装置。背景技术以往，在把放电灯作为光源的曝光装置中，把用来制造大规模集成电路(LSI)等的掩模的图形曝光在基板上。在曝光之前，需要使掩模与 基板保持正确的位置关系。为此，如图9 (a)所示，专利文献1中所公 开的方法是利用摄像装置来拍摄掩模与基板的对准标记。对准掩模与基 板的相对位置，以使两者的标记一致。在将位置对准之后，将摄像装置 退后。另外，如果是波长和光量等...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。