技术编号：2898711
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电弧检测方法以及控制高频电弧放电的装置，可在不中断高频溅射装置或高频刻蚀装置中的辉光放电的情况下控制电弧放电。背景技术 例如，在溅射装置中，要在预定空间内获得辉光放电。尤其为了在绝缘体上实施溅射，就要由高频电源为装置供应电功率。在高频溅射过程中，辉光放电会突然变成电弧放电，于是会不可避免地损坏样品。一般而言，电功率越大，就越可能发生电弧放电。即，随着增大功率以提高溅射速度，即使在很少发生电弧的区域，一旦产生了电弧，该电弧也不会迅速消失。随着功...
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