技术编号：2898963
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子注入技术，特别是涉及一种。 背景技术新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大之一，其中，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年以来，国际上光伏发电技术得到了迅猛发展，因此提高太阳能晶圆的生产质量以及生产能力已经成为了极为重要的课题。目前，在太阳能晶圆掺杂领域，使用最为普遍的方法...
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