技术编号：2899002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过电介质材料中的狭缝或孔洞产生非热等离子体(non-thermal plasma)放电的设备及其使用方法。背景技术 “等离子体”为由离子、电子和中性粒子组成的部分电离气体。物质的这一状态是由相对较高的温度或相对较强的电场——恒定(DC)或随时间变化的(例如RF或微波)电磁场——产生的。放电等离子体是在中性原子/分子背景中的自由电子被电场激发而产生的。这些电子导致电子-原子/分子碰撞，将能量传给原子/分子并形成多种粒子，可包括光子、亚稳态、原...
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