技术编号：2899019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域本发明一般涉及带电颗粒列，并特别涉及产生带电颗粒束列对准和象差校正的方法和设备。更具体来说，本发明还涉及带电颗粒束的自动对准与象差的自动校正。本发明的背景如微电子、微力学及生物技术等技术在工业中对于构成和探测纳米尺度内的样品有很高的需求。在这样小的尺度上，常常使用电子束进行探测和构造，这些电子束在如电子显微镜或电子束图案产生器等带电颗粒束装置中产生和聚焦。带电颗粒束由于它们的短的波长，提供了很高的例如可与光子束相比的空间分辨率。然而由于带电颗粒...
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