技术编号：2900731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明专利描述的是在聚焦透镜区域束流传输管道的一种结构形式，该结构设计属于离子注入机中磁四极透镜的一部分，涉及半导体设备制造领域。 背景技术随着目前半导体产业与技术的快速发展，先进的半导体工艺对半导体生产设备提出了越来越高的要求。作为离子注入半导体工艺生产线上的关键设备，离于注入机在注入晶片尺寸、注入深度的控制、均匀性、可靠性与生产率等方面被提出了更高的要求。 磁四极透镜是离子注入机上确定光路系统的一个重要组成部件。它是这样一个装置产生合适的磁场分布，使进...
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