技术编号：2904834
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空微电子器件制造，特别是一种。背景技术场致发射显示器(Field Emission Display，FED)是一种新型的平板显示技术，它是阴极射线管(Cathode Ray Tube，CRT)技术的延伸，它的工作原理是靠很强的外部电场来压抑物体表面的势垒，使势垒高度降低，宽度变窄，当势垒的宽度窄到可以同电子的波长相比拟时，电子通过隧道效应穿透势垒逸入真空而轰击阳极荧光粉发光。场发射阴极结构是场致发射显示器的核心，常用的阴极结构按照栅极的位置不同...
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