技术编号:29048587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于化学稳定剂技术领域,具体涉及一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用。背景技术.电子级过氧化氢水溶液作为一种超净高纯电子化学品,是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一,主要用做半导体晶片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂,电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质,以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等,它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。.由于超净高纯的电子级过氧化氢的稳定性偏低,且一般是与其他电子化学品复配成工...
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