技术编号:29071285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明特别是关于一种在与对准台之间夹持薄片的具备薄片矫正单元的层叠装置。背景技术.层叠装置将构成电子零件的多片薄片进行层叠,具有对准(alignment)单元及层叠单元。此对准单元在通过层叠单元将薄片进行层叠之前,通过进行各薄片的对准(也称为”对齐”)而能够抑制要形成的层叠体的各薄片彼此的偏移。.例如,于专利文献记载有:于对准单元中,将薄片载置于对准台(alignment stage)上后,根据薄片的对准标记(alignment mark)的位置信息,使对准台移动,进行薄片的对准而形成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。