技术编号：2907552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带有集成静电能量过滤器的带电粒子源，该带电粒子源用于带电粒子设备中，该带电粒子源包括 带电粒子发射器，其用于产生绕轴线的带电粒子束， 束限制孔口，其用于选择由发射器所产生的束的部分，该束限制孔口位于轴线周围，从而选择该束的轴向部分， 在能量选择膜片中的能量选择孔口，其用于从通过束限制孔口的束的部分选择具有所需能散度的粒子， 电极，其用于在能量选择膜片上形成带电粒子发射器的焦点；以及 电极，其用于产生静电偶极场以使得束偏转。背景技术这种粒子源从美...
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