技术编号：2907929
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子注入机中一种扫描抑制电极的装置。背景技术离子注入机是半导体エ艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，通过引出电极，引出离子源的离子束，在经过加速管，提供离子束所需要的能量，分析器分离出需要的离子束，其他的离子被筛选出来，扫描板是提高离子束流质量的关键部分，扫描由两块对称的喇叭形电极板组成，两块电极板上所加扫描电压(偏转电压)相位相差180°。该扫描系统为对称扫描，即以中心对称向两边扫开。不需要的离子最終会偏离离子束运动轨道，打到扫...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。