技术编号：2908486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用带电粒子束检查样本设备。特别地，本发明涉及用于带电粒子束装置的微型化腔体。更进一步地，本发明涉及用于带电粒子束装置的偏向器。背景技术带电粒子束装置，尽管只用于例如扫描、传输、微探测设备等一些场合，但是，它在观察、评定、改良大量不同有机、无机物质及其表面时是一种非常有用的器械。在这些器械中，用带电粒子束照射被检查(改良)区域，带电粒子束可以是通过光栅以静态或扫描的方式照射样本表面。根据特定的应用场合，带电粒子束可以不同程度地被聚焦，粒子的动能...
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