技术编号：2908597
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种直流工作用的、具有一个放电管的短弧光-高压放电灯，所述放电管具有两个在直径上相面对的颈，颈中以气密方式熔接分别由钨所制成的一个阳极及一个阴极，该放电管中另具有一种由至少一种稀有气体及可能的水银所制成的填料。这种灯可作为水银弧光灯且在半导体工业中特别适用于微刻术中使晶片曝光，这种灯另外可作为氙弧光灯以用于电影-及视频投影中。背景技术 曝光过程中所使用的水银-短弧光-高压放电灯必须在紫外线波长范围中(一部分须限制在数个纳米的波长中)提供一种高的光...
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