技术编号：2908843
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造装备离子注入机中引出电极的滑动密封板装置，其直接针对于以往引出电极工作时由于导杆的空间移动而造成的对其内部真空度的影响，能可靠保证引出电极内部真空度的要求，为多方面具有一定真空度要求的应用提供了方便。背景技术离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。1.在晶片的离子注入工艺中，束流的稳定性及其纯度要求愈来愈高。而这种要求直接影响半导...
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