技术编号：2910761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关於光照射装置，特别是有关照射从激发放电灯(Excimer灯，以下相同)等紫外线灯放射紫外线的紫外线照射装置。背景技术 激发放电灯例如在使用氙作为放电用气体的情况下，放射出中心波长为172nm的高能量的真空紫外线。此处，把50nm以上200nm以下范围的紫外线称为所谓真空紫外线。因为，在空气中照射真空紫外线会产生臭氧，通过这种臭氧和透过的真空紫外线的相乘效果，可分解去除玻璃基板等表面的有机物等并将其洗净。为此，紫外线照射装置的光源常常用来取代主要放...
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