感应发热辊装置的制作方法技术资料下载

技术编号:29112297

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.本实用新型涉及感应发热辊装置。背景技术.例如在将专利文献的感应发热辊装置组装于真空蒸镀装置等真空处理装置来使用的情况下,如图所示,将辊与处理室之间密封,并且使辊的内部成为外气气氛。而且,辊的内部的感应线圈构成为配置在外气气氛中。如此构成的理由在于,因通电而发热的感应线圈的热量在减压气氛下难以散热,有可能导致感应线圈发生热损伤。.但是,为了如此构成,在处理室的内部需要用于将辊的内部与外部隔绝的密闭结构,导致花费制造成本。例如,在辊构成为具有圆筒状的辊主体以及与该辊主体的两端部连接的轴颈...
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