技术编号：2914126
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子源，这种离子源适用于离子注入器，特别涉及那种带有非直接加热阴极的离子源。离子注入器通常用带有直热阴极的离子源，其特征是一个发射电子的丝安装在离子源的弧形腔室内并暴露于一位于孤形腔室内的高腐蚀的等离子体区。这种直接加热阴极构成一个直径相对较小的导线丝，所以在弧形腔室的高腐蚀的环境中在一个相对较短的时间内就不能使用了。所以直接加热阴极离子源的寿命受到限制。在离子注入器中为了提高离子源的寿命，非直接加热阴极离子源已经发展起来。非直接加热阴极包括一相...
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