技术编号：2914136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术本发明涉及处理装置。具体地，本发明涉及在半导体处理装置中使用分光计。在等离子体室中使用等离子体的制造工艺中，需要监控等离子体室内的工艺。为便于讨论，附图说明图1示意性地示出了现有技术的等离子体处理装置10和分光计12。等离子体处理室10包括等离子体处理室14和装置计算机16。分光计12由分光计计算机17控制。分光计计算机17通过串联连接18链接到装置计算机16，串联连接18例如为RS-232连接，具有每秒钟9600字节的通信速度。等离子体处理室14...
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