技术编号：2915472
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体，尤其涉及一种样品载体及透射电镜。 背景技术在半导体领域内，通常采用透射电镜对样品(如晶圆)进行缺陷检查。而铜网是透射电镜最常用的样品载体之一。铜网主要由圆形网状铜支架和覆盖在铜网之上的多孔碳膜组成。透射电镜样品的处理程序如下首先将由聚焦离子束制备的透射电镜样品随机地摆放在多孔碳膜上(这是由样品提取及摆放机台本身的特点决定的)。随后，将装有样品的铜网随机地放入透射电镜的样品台里进行观测(铜网是圆形的，而且透射电镜样品非常小，一般长度小于...
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