技术编号：2920903
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通电处理装置和方法，而且涉及电子源的制造装置及方法。背景技术 以往，作为电子发射元件，已知大致使用热电子发射元件和冷阴极电子发射元件两种。在冷阴极电子发射元件中，有电场发射型、金属/绝缘层/金属型和表面传导型电子发射元件等。表面传导型电子发射元件是在基板上形成的小面积的薄膜中，通过流过与膜面并行的电流，利用产生的电子发射现象的元件。其基本结构、制造方法等例如公开在(日本)特开平7-235255号公报、特开平8-171849号公报中。表面传导型电子...
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