技术编号：2922237
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体刻蚀，涉及一种等离子体刻蚀机的传片系统。背景技术等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。传片系统是等离子体刻蚀机的重要组成部分，其作用时将待刻蚀片盘送入刻蚀腔内，等刻蚀完成后，再将片盘取出。现有的等离子体刻蚀机的传片系统每次只能装在一个片盘，片盘的吞...
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