技术编号：29253981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及化工领域，尤其是一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的方法。背景技术.电子级氟化氢和电子级氢氟酸作为集成电路制造中的关键性基础化工材料，主要用于芯片的清洗和蚀刻，它们的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。在氟化氢原料气中，重金属砷是以三价态存在，由于三价态的砷沸点几乎等同于氢氟酸，不管是精馏还是吸附都无法将其有效分离，单纯依靠工艺改进已很难将其去除。.cnb涉及一种工业氟化氢除砷的方法，首先采用取样滴定的...
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