技术编号：2925628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及用来处理非常大面积的显示器的RF电容性耦合等离子体反应器。更具体地说，本发明涉及通常在13.56MHz或更低的频率下输送给等离子体的RF功率的耦合效率的改善。背景技术 本发明是基于在用于显示器和太阳能制造工业的非常大的玻璃面积上沉积半导电层中出现的问题和要求。然而，所得到的解决方案可以应用于其它的应用。因此，虽然本发明被描述为涉及用于非常大面积的显示器加工的等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)系统的等离子体反应器，但是本发明也可以应用到涉...
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