技术编号:29262609
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种实现薄膜探针测量滑移的方法.技术领域.本发明属于探针卡、晶圆测试技术领域,具体涉及一种实现薄膜探针测量滑移的方法,该方法适用于薄膜探针头及薄膜探针卡。背景技术.近年来,随着g技术和消费电子技术的发展和普及,半导体器件不断朝着小型化、集成化、衬垫间距密集化发展,工作频率不断提高,面向高频的晶圆级测试逐渐成为rf芯片生产中不可获取的重要一环。相较于其他类型探针卡,薄膜探针卡实现了小尺度的探针结构加工和高精度的信号线结构参数控制,减少了寄生电容和电感的产生,极大地缩短了信号路径,提高了阻抗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。