技术编号：2926366
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及受激准分子灯(excimer lamp)，具体涉及用于防止内管和外管的接合部因紫外线而劣化的受激准分子灯。背景技术 受激准分子灯是一种通过电介体阻挡层放电形成受激准分子，并利用从受激准分子放射的光的电介体阻挡层放电灯。从受激准分子灯放射的紫外线可用作光化学反应的紫外线光源。如图6所示，受激准分子灯采用内管1和外管2同轴配置的双重管构造。内管1的内表面设有一个电极，外管2的外表面设有另一电极。在内管1和外管2之间形成的放电空间6中填充有放电用稀有气...
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